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在晶圆上实现可靠的 OCR 和代码读取

反光的晶圆表面、微小的蚀刻字符和严格的洁净室条件使半导体生产中的晶圆可追溯性应用复杂化。康耐视解决方案采用先进的光学字符识别 (OCR)、二维解码和自适应照明技术,可提供高读取率和可靠的 ID 跟踪,确保在整个复杂、高度敏感的制造和包装过程中实现全面可追溯性。

Semiconductor wafer OCR and ID reading

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使用多模式照明自动读取每个晶圆ID,即使是最微弱的标记,也能实现100%的可追溯性,而不会减慢生产速度。

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在整个生产流程中实现可靠且准确的晶圆可追溯性

​​全球半导体行业以速度、精度和零容错为运行基础。晶圆是用于制造集成电路的纤薄圆形硅片 ,尺寸微小但性能卓越。从前端制造直至晶圆切割,制造商需要全程准确跟踪。随着更高的工具使用率、严格控制和更高的生产成品率需求不断增长,制造商需要可靠的晶圆可追溯性系统,以维持盈利能力和产品质量。

为了跟上高速度,先进的机器视觉可优化流程,以确保快速、准确读取代码,从而实现准确的晶圆可追溯性。

先进的读码器解决棘手的晶圆识别挑战

制造商在晶圆的微小硅盘区域标记激光蚀刻代码(字母数字字符或 DataMatrix 符号),确保在多个加工阶段识别晶圆,直到晶圆进入切割工序。可靠读取这些微小的代码面临巨大的挑战。

标识质量退化、反光表面、微小的蚀刻字符和洁净室限制导致传统系统难以实现一致的晶圆 ID 成像,影响工具对位、质量控制和整体生产效率。 

先进的读码系统提供制造商所需的精度和可靠性,一致读取晶圆 ID,以确保准确处理、快速排除故障和端到端可追溯性。

Challenging, degraded code on semiconductor wafer being read by Edge AI OCR

读取损坏或有划痕的代码。

AI Autotune adjusts lighting and filters for In-Sight 1750 ID reader

优化反光表面对比度。

在晶圆 ID 准确性方面处于领先地位

康耐视解决方案专为高速、精密驱动的半导体环境而设计,包括 In-Sight 1750 系列,可实现 100% 晶圆可追溯性,快速、可靠地解码几乎任何 ID 标记,包括字母数字和 2D Data Matrix 代码。

这些紧凑、洁净室兼容的系统结合了 OCR 功能、高级算法、强大的光学元件和灵活的照明,以简化和加强晶圆 ID:

  • 高分辨率成像 可捕捉反射晶圆表面上的非常小的字符,借助增强的 2MP 传感器和扩展的 38 mm 视场,实现更大的覆盖范围
  • 内置多模式照明(明场和暗场)优化了低对比度或退化标记的对比度,增强的RGB照明改善了硅、氮化镓、碳化硅、蓝宝石和玻璃等基板上的结果
  • AI驱动的标记适应调整了由掩模、蚀刻或光刻引起的的变化,减少了未读取,最小化了辅助,最大化了正常运行时间

此外,康耐视提供灵活的支持选项,现场、在线或按需,并由全球视觉专家网络支持。 

半导体解决方案指南 | 英语

下载《半导体解决方案指南》

通过精确的对准、缺陷检测和端到端可追溯性,促进半导体制造。   

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